自動化半導體參數測試系統
針對大規模測試，如晶元上多點測試，復雜系統的自動化測試，自動化半導體參數測試系統（S500/S530/S540），支持各類晶元Wafer和MEMS的自動化、半自動化參數測試。廣泛用于晶元的
- 失效分析測試（FA）
- 質量控制測試（QA）
- 可靠性分析測試（RA）。其中S540支持高壓功率半導體自動化參數測試。
S530 功能
- 靈活的探測器接口選項，包括測試頭，支持原有吉時利和 Keysight 裝置
- 觸摸一次探頭即可完成高壓和低壓參數的測試
- 通過全新系統參考單元 (SRU) 進行全自動系統級校準符合最新質量標準
- KTE 7 中的運行狀況檢查軟件工具最大限度地延長系統正常運行時間和提高數據完整性
- 內置的瞬態過電壓和/或過電流事件保護可最大程度地減少代價高昂的系統停機或對晶片造成損壞
S540 功能
- 在單次探頭觸摸中自動在多達 48 個引腳上執行所有晶片級參數測試，包括高電壓擊穿、電容和低電壓測量，而無需更改電纜或探頭卡基礎設施
- 在最高達 3kV 的條件下執行晶體管電容測量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而無需手動配置測試引腳
- 在高速、多引腳、全自動測試環境中實現低電平測量性能
- 非常適合于過程集成、過程控制監控和生產芯片分類中的全自動或半自動應用
- 通過最大程度減少測試時間、測試設置時間和占地面積，降低擁有成本，同時實現實驗室級測量性能
S500 功能
- 全量程源測量單元 (SMU) 儀器技術規格，包括 subfemtoamp 測量，確保在幾乎任何設備上都能執行廣泛的測量。
- 適用于內存檢定、電荷泵、單脈沖 PIV（電荷陷阱分析）和 PIV 掃描（自加熱回避）的脈沖生成和超快 I-V。
- 利用支持 Keithley 系統的可擴展 SMU 儀器，提供低或高通道數系統，包括并行測試。
- 適用于測試功率 MOSFET 和顯示驅動器等測試器件的高電壓、電流和功率源測量儀器。
- 開關、探頭卡和布線保證系統完全適用于您的 DUT。
